半导体设备金属表面处理的关键技术与应用——昆山挚诚精密的专业解决方案

一、为什么半导体设备需要特殊表面处理？半导体生产环境对设备的洁净度、耐腐蚀性和尺寸稳定性要求极高。例如，刻蚀机腔体内的金属部件若存在微观毛刺或氧化层，可能导致等离子体分布不均，影响晶圆加工精度。我们曾为某客户提供的铝制腔体组件，通过微弧氧化工艺处理后，表面硬度提升至H...